Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig

Workshop "Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen"

veranstaltet vom
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. Leipzig und dem
Institut für Physik der Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald

Programm 2001

alle Veranstaltungen

Vortragsprogramm

Dienstag, 14. März 2001

9.00
9.15
9.45
10.15
10.45
11.15
11.45
12.15	Mittagspause
13.15	H. Neumann, R. Deltschew, Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig F. Scholze, M. Zeuner, Innovative Oberflächentechnologien GmbH Leipzig "Entwicklung von großflächigen Ionenstrahlsystemen"
13.45	H.-E. Wagner, J. Meichsner, V. Kroutilina, Ernst-Moritz-Arndt Universität Greifswald "Zeitaufgelöste Bestimmung der stabilen Komponenten in CF4/H2 Plasmen mittels Elektronenanlagerungs-Massenspektrometrie"
14.15	M. Meier, Th. Schwarz-Selinger, A. von Keudel, W. Jacob, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching "In-situ Untersuchungen mit Infrarot-Spektroskopie zur Wechselwirkung von Kohlenwasserstoffradikalen mit a-C:H-Oberflächen"
14.45	Ch. Hopf, Th. Schwarz-Selinger, A. von Keudel, W. Jacob, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik Garching "Haftvermögen von CXHY-Radikalen aus Kohlenwasserstoffplasmen"
15.15	Pause
16.00	I. Dani, Technische Universität Chemnitz " Untersuchungen des ECR-Plasmas während der SiCN-Herstellung"
16.30	D. Hegemann, Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik Stuttgart "Plasmaabscheidung von Hartstoffschichten im System Si-B-C-N"
17.00	D. Manova, Universität Augsburg "Formation of AlN by Plasma Immersion Implantation"
17.30	T. Arnold, G. Böhm, W. Frank, A. Schindler, Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig "PACE (Plasma Assisted Chemical Etching) - ein Verfahren zur optischen Formgebung durch lokales Hochrateätzen"

Mittwoch, 15. März 2000

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9.00	H. Schlemm, Jenion Jena "Alternating Cold Cathode Plasmaquellen – eine neue Kaltkathodenplasmaquelle für reaktive Gase"
9.30	R. Günzel, N. Shevshenko, Forschungszentrum Rossendorf "Kurzzeittemperung von Stickstoff-PIII behandeltem martensitischem Stahl"
10.00	St. Mändl, Universität Augsburg "Plasmaimmersionsimplantation mit Metallionen"
10.30	U. Hornauer, Forschungszentrum Rossendorf "Oxidationsschutz von TiAl Werkstoffen durch Plasmaimmersions-Ionenimplantation von Chlor"
11.00	W. Fukarek, Forschungszentrum Rossendorf "In situ Messung mechamischer Spannungen während der Abscheidung und Modifizierung von BN-Schichten"
11.30	H.-U. Poll, St. Schreiter, Forschungszentrum Maschinenbau Flöha "Die Effektverteilung bei der Plasmabehandlung von textilen Konstruktionen"
12.00	Mittagspause

Donnerstag, 16. März 2000

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9.00	R. Deltschew, D. Hirsch, H. Neumann, Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig, T. Herzog, K.J. Wolter, Technische Universität Dresden, M. Nowottnick, K. Wittke, Fraunhofer Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration Berlin "Plasmabehandlung von PbSn-Legierungen für flußmittelarme Lötprozesse"
9.30	J. Friedrich, I. Retzko, G. Kühn, Bundesanstalt für Materialforschung und –prüfung Berlin "Herstellung chemisch definierter Plasmapolymerstrukturen und Methoden zum Radikalquenching"
10.00	K. Li, J. Meichsner, Ernst-Moritz-Arndt Universität Greifswald, J. Röpcke, Institut für Niedertemperaturplasmaphysik Greifswald "Untersuchungen niedermolekularer Produkte in HMDSO-Plasmen mittels Massenspektrometrie und IR-Laserdiodenabsorptions-Spektroskopie"
10.30	J. Meinhardt, Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig, St. Howitz, M. Bürger, Gesellschaft für Silizium-Mikrosysteme mbH Großerkmannsdorf "Modifizierung von Mikrofiltern mittels MW-PECVD-Verfahren"
11.00	O. Kahle, "Analyse thermophysikalischer Eigenschaften von Plasmapolymerschichten mittels temperaturvariabler Ellipsometrie"
11.30	G. Kühn, J. Friedrich, Bundesanstalt für Materialforschung und –prüfung Berlin "Hochselektive Polymeroberflächenfunktionalisierung durch Plasmabromierung"
12.00	Mittagspause
13.00	D. Labruier, Deutsches Wollforschungsinstitut Aachen "Neues zur plasmagestützten Hydrophobausrüstung von PET"
13.30	R. Hänsel, Forschungsinstitut für Leder- und Kunstledertechnologie Freiberg "Wärmereflektorschichten für die Kunststoffbahnenindustrie"
14.00	C. Klein, Deutsches Wollforschungsinstitut Aachen "Plasmabehandlung von PP"
14.30	M. Bach, Universität Osnabrück "Einfluß der Elektronen bei der Plasmabehandlung von Oberflächen"
15.00	St. Kröpke, A. Holländer, Fraunhofer-Institut für Angewandte Polymerforschung Teltow "Plasmabehandlung unter Normaldruck"

IOM e.V. Leipzig . . . Institut für Physik der EMAU Greifswald