Der X. Erfahrungsaustausch fand statt vom
18. bis 21. März 2003
in Mühlleithen / Vogtland
Schwerpunktthemen
- Plasma-Festkörper-Wechselwirkung (Abscheiden,
Ätzen, Modifizieren)
- Diagnostik von Niedertemperaturplasmen
und Beschreibung von Plasma- und Ionenstrahlquellen (Massenspektrometrie,
Optische Spektroskopie einschließlich Laserverfahren, Elektrische
Messungen)
- Plasmachemische Prozesse und Reaktionskinetik
im Volumen und an Oberflächen
- Analytik an plasmabehandelten Oberflächen
und dünnen Schichten
- Makroskopische Oberflächen- und Schichteigenschaften
Veranstaltungsort
Ferienhotel
Mühlleithen bei Klingenthal
D-08248 Mühlleithen, Waldstraße 4
Kontaktadressen
für Nachfragen, Anreise, formlose Anmeldung
einschl. Vortragsthema, etc.
IOM e.V. Leipzig
Horst Neumann
Permoserstraße 15
D-04318 Leipzig
Tel.: (0341) 235 2681
Fax : (0341) 235 2595
Email: horst.neumann(a)iom-leipzig.de *
* (bitte ersetzen Sie (a) durch @)
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