9.00

Begrüßung und Informationen der Veranstalter

9.15

U. Kogelschatz; vormals ABB Corporate Research, Baden, Schweiz
Kalte Atmosphärendruckplasmen, physikalische Grundlagen, apparative Gestaltung und Anwendungen in der Oberflächentechnologie (2.8 MB)

10.00

I. Dani; IWS Dresden
Kontinuierliche Prozessierung von kristallinen Si-Solarwafern durch plasmachemisches Ätzen und Beschichten bei Atmosphärendruck (4 MB)

10:20

R. Joshi, J. Friedrich, R.-D. Schulze; BAM Berlin
Modifizierung von Polymeroberflächen im Unterwasserplasma (1.5 MB)

10:40

Pause

J. Friedrich

11.20

J. Lutz, S. Mändl; IOM Leipzig
Modifizierung von medizinischen CoCr-Legierungen mit Plasma-Immersions-Ionenimplantation (1 MB)

11.40

P. Pecher; Glas Trösch AG, CH
Energiesparen im Architekturbereich: Beschichtung und Funktionalität

12.00

H. Wulff; EMAU Greifswald
Reaktion von dünnen Ni-Schichten im Wasserstoffplasma

12.20

R. Mix, J. Friedrich; BAM Berlin
Einführung von haftvermittelnden Molekülen an plasmabehandelte Polymeroberflächen

12.40

A. Sobottka, L. Prager; IOM Leipzig
Argon Excimer Lamp (2.7 MB)

13.00

Mittagspause

14.20

S. Seeger, K. Ellmer;  HMI Berlin
Präparation von CuInS2-Schichten durch reaktives Magnetronsputtern: Einfluß der Teilchenenergie auf Morphologie und elektrische und optische Eigenschaften (1.8 MB)

14.40

D. Manova, F. Haberkorn, A. Gjevory, E. Valcheva, S. Mändl;  IOM Leipzig
Investigation of photocatalytic active TiO 2 thin films obtained by MePIIID (2.7 MB)

15.00

W. Jacob, C. Hopf, M. Schlüter, T. Schwarz-Selinger;  MPI IPP Garching
Chemische Zerstäubung mit reaktiven Ionen

15.20

Th. Dunger, Th. Welzel, F. Richter;  TU Chemnitz
Entwicklung einer zeitaufgelösten Einzelsonde für gepulste Magnetronentladungen

15.40

St. Mraz;  RWTH Aachen
Ein physikalischer Grund für vermeindlich niedrige Abscheiderate bei HPPMS-Plasmen

16.00

Pause

S. Mändl

16.30

H. Löb, K.-H. Schartner, D. Feili, M. Bachmann;  JLU Gießen
Skalierung und Lebensdauer von Zwei-Gitter-Systemen für spezifische Impulse bis 10000s (4.8 MB)

16.50

A. Lehmann;  IOM Leipzig
Behandlung von Biofilmen mit einem atmosphärischen Plasmajet (1.9 MB)

17.10

K. Dittmann, N. Sadeghi*, J. Meichsner;  EMAU Greifswald, *Universität Grenoble
Metastabil angeregte Argonatome in der RF-Randschicht eines kapazitiv gekoppelten 13,56 MHz Plasmas

17.30

R. Wiese, H.Kersten*;  INP Greifswald, *CAU Kiel

17.50

K. Tichmann;  MPI IPP Garching
Bestimmung des Haftkoeffizienten von niederenergetischen Kohlenwasserstoffen

20.00

Abendvortrag

H. Kersten

9.00

K. Ellmer;  HMI Berlin
Plasmaunterstützte Schichtabscheidung für Dünnschichtsolarzellen: Prinzipien und Anwendungen (2.7 MB)

9.45

F. Frost, B. Ziberi, T. Lutz*, R. Fechner, D. Hirsch, K. Zimmer, B. Rauschenbach;  IOM Leipzig, *MPI FKF Stuttgart
Guided self-organization in low-energy ion beam erosion: hierarchical structuring at micron and nanometer length scales (4 MB)

10.05

H. Zachmann;  Solarion AG, Leipzig
Ionenstrahlgestützte Abscheidung von Cu(In,Ga)Se2: Einfluss der Teilchenenergie auf strukturelle und elektrische Schichteigenschaften

10.25

S. Stepanov, O. Gabriel*, J. Meichsner;  EMAU Greifswald, * TU Eindhoven
CF-Kinetik in gepulsten CF4/H2 RF-Plasmen

10.45

T. Welzel, F.Richter;  TU Chemnitz
Ionenenergieverteilungen in gepulsten und DC-Magnetronentladungen
    Vortrag wird bei Interesse vom Autor zugeschickt: welzel [at] hrz.tu-chemnitz.de

11.05

Pause

W. Jacob

11.25

B. Liebig, Th. Dunger, Th. Welzel, F. Richter;  TU Chemnitz
Räumlich aufgelöste optische Emissionsspektroskopie in einer Magnetronentladung

11.45

S. Nemschokmichal, K. Dittmann, J. Meichsner;  EMAU Greifswald
Raum-zeitlich aufgelöste optische Emissionsstrukturen und Anregungsraten im Randschichtbereich kapazitiv gekoppelter RF-Plasmen

12.05

T. Schwarz-Selinger, W. Jacob;  MPI IPP Garching
Entfernung von Kohlenwasserstoffschichten aus Gräben und Spalten mittels Sauerstoffplasmen: Das delikate Zusammenspiel von Physik und Chemie (1 MB)

12.25

Kaiyun Jiang;  RWTH Aachen
Growth and characterization of Al 2O 3 thin films synthesized by PECVD (1.9 MB)

12.45

I.-M. Eichentopf;  IOM Leipzig
Plasmajet-Hochrateätzen von SiC (1.9 MB)

13.05

Mittagspause

H. Löb

9.00

C. Bundesmann, H. Neuman;  IOM Leipzig
Ionenstrahlabscheidung und optische Eigenschaften von Spiegelstrukturen basierend auf dielektrischen und metallischen Schichten

9.20

S. Brunken, R. Mientus, K. Ellmer;  HMI Berlin
Schnelle metallsulfid-induzierte Kristallisation von hochtexturierten, hotoaktiven Wolframdisulfid-Schichten

9.40

S. Mändl;  IOM Leipzig
Zerstäubungsabscheidung von Mg-Legierungen

10.00

M. Wolter, M. Stahl, M. Haass, C. Terasa;  CAU Kiel
Mikroskopische Testpartikel in Plasmarandschichten

10.20

F. Scholze, M. Tartz;  IOM Leipzig
Simulation einer DC - Plasmaanregung für die Validierung eines PIC-Codes

10.40

Pause

F. Frost

11.00

L. Prager, S. Naumov, L. Pistol, L. Wennrich, M. R. Buchmeiser, P. Marsik*, P. Verdonck*, M. R. Baklanov*;  IOM Leipzig,* IMEC Leuven (Belgien)
(V)UV curing of CVD- derived low-k material at different wavelengths and pressures (1.3 MB)

11.20

J. Meister;  IOM Leipzig
Simulation des Substrat-Temperaturfeldes beim Plasma gestützten chemischen Ätzen

11.40

G. Dietrich, P. Gawlitza;  IWS Dresden
Ionenstrahlsputtern von Kohlenstoff - Möglichkeiten und Grenzen bei der Herstellung hochpräziser (Multi-) Schichten

12.00

Th.Trottenberg, I. Teliban, V. Schneider, F. Scholze*, M. Tartz*, H. Neumann*, H. Kersten;  CAU Kiel, *IOM Leipzig
Diagnostiken für Ionenstrahlquellen

12.20

F. Genoese;  MPI IPP Garching
Charakterisierung amorpher Kohlenwasserstoffe mit Hilfe thermischer Effusionsspektroskopie

12.40

St. Mraz;  RWTH Aachen
Energieverteilungsfunktionen der O - -Ionen beim Magnetronsputtern von Metallen in einer Ar/O2- Atmosphäre

13.00

Mittagspause