Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig

Workshop "Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen"

veranstaltet vom
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. Leipzig und dem
Institut für Physik der Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald

Ernst-Moritz-Arndt Universität Greifswald
Einladung Programm und Vorträge alle Veranstaltungen

Vortragsprogramm 2009

Die auf dem diesjährigen Workshop gehaltenen Vorträge stehen hier als pdf-Dateien bereit. Bitte beachten Sie, daß einige Dateien mehrere MB groß sind.

Letzte Änderung: 23.3.2009

Dienstag, 10. März         Mittwoch, 11. März          Donnerstag, 12. März

 

Dienstag, 10.3.2009


H. Neumann

9.00

Begrüßung und Informationen der Veranstalter

9.15

Übersichtsvortrag:
F. Frost, B. Ziberi, R. Fechner, M. Cornejo, J. Völlner, M. Tartz, H. Neumann, A. Schindler, IOM Leipzig
Nano-Design mit Ionenstrahlen: von ultra-glatten Oberflächen zu hierarchisch aufgebauten Nanostrukturen (9.9MB)

10.00

H. Zachmann, Solarion AG Leipzig
Ionenstrahlinduzierte Defekte bei der IBAD-Abscheidung von Cu(In,Ga)Se2

10.20

Ch. Küllig, K. Dittmann, J. Meichsner, EMAU Greifswald
160GHz Interferometrie und Sondenmessungen in RF-Sauerstoffplasmen

10:40

Pause

J. Meichsner

11.10

K. Ellmer, R. Mientus, Helmholtz-Zentrum für Materialien und Energie Berlin
Magnetrongesputterte epitaktische TCO-Schichten: Wachstum und opto-elektronische Eigenschaften (2.7MB)

11.30

S. Mändl, IOM Leipzig
UV- induzierte Hydrophilie: Morphologie oder Phasenzusammensetzung (5MB)

11.50

Th.Trottenberg, H. Kersten, CAU Kiel
Kontaktaufladung von Mikropartikeln: Neue Experimente und mögliche Anwendungen (0.7MB)

12.10

J. Friedrich, S. Wettmarshausen, G. Hidde, BAM Berlin
Plasmabromierung von Polymeroberflächen für die chemische Pfropfung (0.7MB)

12.30

Mittagspause

K. Ellmer

14:00

Übersichtsvortrag:
G. J. Peter, Inficon AG, Balzers, Liechtenstein
Prinzipielles zur Messung mit Massen-Spektrometern und Plasma Monitoren (2.2MB)

14:45

H. Löb, D. Feili, W. Weber, P. Köhler, JLU Gießen
Ergebnisse der Entwicklung des µN-Ionentriebwerks RIT-2,5 (3.9MB)

15:05

T. Schwarz-Selinger, G. S. Oehrlein und W. Jacob, MPI IPP Garching
Wechselwirkung von atomarem Deuterium mit harten a-C:H Schichten: Isotopenaustausch, Aufhydrierung und Erosion (0.9MB)

15:25

R. Wiese, H. Kersten*, K.-D. Weltmann, INP Greifswald, *CAU Kiel
Aktive Thermosonde zur Messung des Energieeintrages – Stand der Entwicklung (2.4MB)

15:45

Kaffeepause

J. Friedrich

16:20

T. Salem, S. Uhlmann, A. Calvimontes, M. Nitschke, R.-D. Hund*, F. Simon, IPF Dresden, * Technische Universität Dresden
PET Surface Properties Affected by Low Temperature Plasma Modification (1.4MB)

16:40

J. Roch, FHG IWS Dresden
Atmosphärendruckplasmaquellen (2.3MB)

17:00

H. Wulff, EMAU Greifswald
Plasmachemical reactions in thin films of selected 8B metals (1.4MB)

 

Mittwoch 11. März 2009

H. Kersten

9:00

Übersichtsvortrag:
H.-E. Wagner, EMAU Greifswald
Mikroplasmen und ihre Spektroskopie (3.6MB)

9:45

F. Scholze, M. Tartz, H. Neumann, IOM Leipzig
RF- Plasmabrückenneutralisator – erste Ergebnisse, Test und Modellierung (0.6MB)

10:05

F. Pippig, A. Holländer, IAP Postdam-Golm
Derivatisierung mit TFAA zum Nachweis von OH und NHx- Gruppen auf Oberflächen (0.4MB)

10:25

M. Janietz, T. Arnold, IOM Leipzig
Untersuchungen zur lokalen Abscheidung von SiOx-Schichten mittels Plasmajet (0.4MB)

10:45

Pause

H. Wulff

11:05

H. Leiter, Astrium ST Lampoldshausen
Ion Thrusters Diagnostic Needs (0.7MB)

11:25

C. Bundesmann, M. Tartz, F. Scholze, F. Scortecci*, H. Leiter**, D. Feili***, H. Neumann, IOM Leipzig, *Aerospazio Tecnologie s.r.l., ** Astrium ST GmbH, *** JLU Gießen
In-situ Diagnostics of Electric Propulsion Thrusters (0.8MB)

11:45

H. Spahr, R. Reimer, H.-E. Wagner, EMAU Greifswald
Vakuum-UV-Spektroskopie zur Diagnostik reaktiver Plasmen (0.9MB)

12:05

I.-M. Eichentopf, T. Arnold, G. Böhm, J. Meister, M. Janietz, IOM Leipzig
Grundlagenuntersuchungen zur Plasmajet- gestützten Bearbeitung von SiC (2.4MB)

12:25

Mittagspause

 

Nachmittag: Diskussionen

 

Donnerstag 12. März 2009

H.-E. Wagner

9:00

Übersichtsvortrag:
H. Kersten, T. Ockenga, M. Haass, H. Maurer, T. Trottenberg, M. Wolter, CAU Kiel
Teilchen als elektrostatische und thermische Sonden zur Plasmadiagnostik (8.5MB)

9:45

M. Wolter*, M. Stahl*, C. Terasa*, T. Schwarz-Selinger**, W.Jacob**, H. Kersten*, *CAU Kiel, **MPI IPP Garching
Messungen des Energieeintrages in Prozessplasmen mittels passiver Thermosonden (1MB)

10:05

S. Seeger, K. Ellmer, Helmholtz-Zentrum für Materialien und Energie Berlin
Reaktives Magnetronsputtern von CuInS2-Schichten: Untersuchung des Schichtwachstums (2MB)

10:25

F. Wienholtz, H. Testrich, J. Meichsner, EMAU Greifswald
Wechselwirkung eines Sauerstoffplasmas mit einem Sauerstoffionenleiter (YSZ)

10:45

Pause

W. Jacob

10:10

D. Manova, J. Lutz, S. Mändl, H. Neumann IOM Leipzig
Solid solution metal alloys: synergy effects vs. segregation phenomena (1.2MB)

10:30

J. Meister, T. Arnold, IOM Leipzig
Verbesserte Ätzprozess-Simulation zum plasmagestützten chemischen Ätzen (0.9MB)

10:50

T.Trottenberg; I. Teliban; V. Schneider; H. Kersten, CAU Kiel
Untersuchungen von Mikropartikeln in einem Ionenstrahl (6.4MB)

 

Mittagspause

 

Ende der Veranstaltung ca. 14 Uhr

 



IOM e.V. Leipzig  . . .  Institut für Physik der EMAU Greifswald