Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig

Workshop "Oberflächentechnologie mit Plasma- und Ionenstrahlprozessen"

veranstaltet vom
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e.V. Leipzig und dem
Institut für Physik der Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald

Ernst-Moritz-Arndt Universität Greifswald
Einladung Programm und Vorträge alle Veranstaltungen

Vortragsprogramm 2011

Die auf dem diesjährigen Workshop gehaltenen Vorträge stehen hier als pdf-Dateien bereit. Bitte beachten Sie, daß einige Dateien mehrere MB groß sind.

Letzte Änderung: 02.03.2011

Dienstag, 08. März         Mittwoch, 09. März          Donnerstag, 10 März

 

Dienstag,  08.3.2011

 
H. Neumann
09.00 Begrüßung und Informationen der Veranstalter
09.10 C. Bundesmann, IOM Leipzig
„Optische in-situ Charakterisierungsmethoden für Dünnschichtprozesse“
09.40 S. Peters,  J. Schäfer, N. Knake*, H. Boettner*, R. Foest, K.-D. Weltmann, INP Greifswald, * RUB Bochum
„Optische Diagnostik am nicht-thermischen Atmosphärendruckplasmajet (nt-APPJ)“
10.00 T. Schwarz-Selinger, D. Nishijima, R. Doerner, IPP Garching
„Zerstäubung von Beryllium bei niedriger Energie und hohem Fluss“
10:20 Pause
 
J. Meichsner
10.50 J. Friedrich, BAM Berlin
„Plasmapolymerisation“ 
11.35 C. Küllig, K. Dittmann, J. Meichsner, EMAU Greifswald
„Analyse negativer Ionendichten mittels Mikrowellen-Interferometrie und Laser- Photodetachment“
11.55 R. Landgraf, B. Adolphi*, M. Mueller, W.-J. Fischer; Fraunhofer-Institut Photonische Mikrosysteme, *TU Dresden
„Sauerstoffplasmabehandlung optischer Polymerschichten - Modifikation und Charakterisierung“
12.15 M. Janietz, Th. Arnold, IOM Leipzig,
„Precursoren für die Plasmajetbeschichtung“
12.35 Mittagspause
 
J. Friedrich
14.00 F. Frost, J. Völlner, IOM Leipzig
„Mechanismen der Musterbildung auf Quarzglasoberflächen bei der Ionenstrahlerosion“
14.20 K. Ellmer, R. Mientus, T. Welzel, HZ Berlin         
„Reaktives Magnetronsputtern von TCO-Schichten: Rolle hochenergetischer Teilchen (Ionen) für die Schichteigenschaften“
14.40 V. Brüser, INP Greifswald
„Plasmachemisch synthetisierte Metall-Polypyrrol-Katalysatoren für die Sauerstoffreduktion in Brennstoffzellen“
15.00

A. Spethmann, T. Trottenberg, V. Schneider I, J. Rutscher, H. Kersten, CAU Kiel
„Zur Bestimmung von Kräften auf Oberflächen in einem Ionenstrahl“

15.20

M. Sode, T. Schwarz-Selinger, W. Jacob, IPP Garching 
„Teilchendichtecharakterisierung in einem Wasserstoff und Argon-Wasserstoff Plasma“

15.40 Pause
 
H.-E. Wagner
16.10

R. Wild, M. Bogaczyk, L. Stollenwerk, H.-E. Wagner, EMAU Greifswald
„Untersuchung dielektrisch behinderter Entladungen: Cross-Correlation-Spectroscopy“

16.30 M. Bogaczyk, R. Wild, L. Stollenwerk, H.-E. Wagner, EMAU Greifswald
„Untersuchung dielektrisch behinderter Entladungen: Messung von Oberflächenladungen“
16.50

S. Nemschokmichal, J. Meichsner, EMAU Greifswald
„Untersuchung dielektrisch behinderter Entladungen: Laserinduzierte Fluoreszenzspektroskopie von metastabilen Stickstoffmolekülen N2(A)“

17.10 G. Wiese, S. Kähler, R. Wiese, INP Greifswald
„Aktueller Entwicklungsstand der Aktiven Thermosonde - Grenzen und Einsatzmöglichkeiten“
20.00 Videoproduktion T. Brand und andere, CAU Kiel:
"Völlig losgelöst - ein Raumflug zu den Sternen"
(ca. 45 min)

 

Mittwoch, 09.3.2011

 

 
F. Frost
09.00 H. Kersten,  CAU Kiel         
„Warum können Nanopartikel in kalten Plasmen kristallisieren?“
09.30 T. Welzel, K. Ellmer, HZ Berlin
„Anwendung einer ECR-Quelle zur Reduzierung hoher Teilchenenergien bei der Magnetronzerstäubung“
09.50 S. Müller, INP Greifswald
„Plasmachemische Erzeugung und oberflächenanalytische Untersuchungen von Eisen- und Kobalt-haltigen Katalysatoren für Brennstoffzellen“
10.10 D. Manova, A. Bergmann, S. Mändl, H. Neumann, B. Rauschenbach, IOM Leipzig
„In-situ XRD observation of phase formation“
10.30 Pause
 
H. Löb
11.00 M. Dünnbier, S. Kalledat, H. Testrich, J. Meichsner, EMAU Greifswald
„Plasmapolymerisation von Ethylendiamin (EDA): Analyse der Gasphasenprodukte“
11.20 J. Bauer, IOM Leipzig
„Herstellung von Si/Ge-Nanostrukturen mittels Glanzwinkeldeposition“
11.40 D. Feili, B. Lotz, H. Löb, JLU Gießen
„Die Genaue Schubkontrolle bei Mikroschub-Ionentriebwerke vom RIT-Typ“
12.00 S. Brunken, K. Ellmer, HZ Berlin
„Strukturelle und elektrische Eigenschaften von gesputterten RuS2-Schichten für die Photokatalyse“
12.20 I.-M. Eichentopf, Th. Arnold, IOM Leipzig,
„Untersuchungen zu Ätzmechanismen bei der Plasmajetbearbeitung von Siliziumkarbid“
12.40 T. Reeswinkel, OSRAM Opto Semiconductors GmbH Regensburg
„Plasmaprozesse in der LED-Fertigung (Backedn)"
13.00 Mittagspause

 

Nachmittag: Diskussionen 

 

  

Donnerstag, 10.3.2011

 
H. Kersten
09.00 R. Henrich, D. Feili, H. Löb, JLU Gießen
„Simulation der Neutralgasverteilung bei molekularem Gasfluss“
09.20 V. Schneider I, T. Trottenberg, R. Wiese, G. Wiese, H. Kersten, CAU Kiel
„Einsatz einer aktiven Thermosonde zur Energiestrommessung in Prozessplasmen“
09.40 F. Scholze, D. Manova, H. Neumann, IOM Leipzig
„Veränderung der tribologischen Eigenschaften von Edelstahl durch Niederenergieionenstrahlbearbeitung“
10.00

M. Fröhlich, V. Schneider II, D. Lundin, S. Bornholdt, H. Kersten, CAU Kiel,
„Analyse von reaktiven Magnetronsputterprozessen mittels nicht-konventioneller Plasmadiagnostik“

10.20 Pause
 
K. Ellmer
10.50 A. Mießler, A. Mill, J. W. Gerlach und T. Arnold, IOM Leipzig
„Subapertur-Materialbearbeitung mit reaktiven Ionenstrahlen“
11.10 S. Hamann, INP Greifswald
„Untersuchung des Einflusses von reaktiven HF-Plasmen auf die Oberflächen von Chalkosin-haltigen Mineralien“
11.30

J. Meister, IOM Leipzig
„Neue Prozedur zur Prozesssimulation bei der Plasmajetbearbeitung“

11.50

V. Danilov, H.-E. Wagner, J. Meichsner, EMAU Greifswald                                                                              „Plasmavernetzung von Polydimethylsiloxan (PDMS) zur Herstellung von Nanokompositschichten mit photokatalytisch aktiven Oberflächen“

12.10 Mittagspause


IOM e.V. Leipzig  . . .  Institut für Physik der EMAU Greifswald