Vortragsprogramm 2011
Die auf dem diesjährigen Workshop gehaltenen Vorträge stehen hier als pdf-Dateien bereit. Bitte beachten Sie, daß einige Dateien mehrere MB groß sind.
Letzte Änderung: 02.03.2011
Dienstag, 08. März Mittwoch, 09. März Donnerstag, 10 März
Dienstag, 08.3.2011
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H. Neumann |
09.00 |
Begrüßung und Informationen der Veranstalter |
09.10 |
C. Bundesmann, IOM Leipzig
„Optische in-situ Charakterisierungsmethoden für Dünnschichtprozesse“ |
09.40 |
S. Peters, J. Schäfer, N. Knake*, H. Boettner*, R. Foest, K.-D. Weltmann, INP Greifswald, * RUB Bochum
„Optische Diagnostik am nicht-thermischen Atmosphärendruckplasmajet (nt-APPJ)“ |
10.00 |
T. Schwarz-Selinger, D. Nishijima, R. Doerner, IPP Garching
„Zerstäubung von Beryllium bei niedriger Energie und hohem Fluss“ |
10:20 |
Pause |
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J. Meichsner |
10.50 |
J. Friedrich, BAM Berlin
„Plasmapolymerisation“ |
11.35 |
C. Küllig, K. Dittmann, J. Meichsner, EMAU Greifswald
„Analyse negativer Ionendichten mittels Mikrowellen-Interferometrie und Laser- Photodetachment“ |
11.55 |
R. Landgraf, B. Adolphi*, M. Mueller, W.-J. Fischer; Fraunhofer-Institut Photonische Mikrosysteme, *TU Dresden
„Sauerstoffplasmabehandlung optischer Polymerschichten - Modifikation und Charakterisierung“ |
12.15 |
M. Janietz, Th. Arnold, IOM Leipzig,
„Precursoren für die Plasmajetbeschichtung“ |
12.35 |
Mittagspause |
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J. Friedrich |
14.00 |
F. Frost, J. Völlner, IOM Leipzig
„Mechanismen der Musterbildung auf Quarzglasoberflächen bei der Ionenstrahlerosion“ |
14.20 |
K. Ellmer, R. Mientus, T. Welzel, HZ Berlin
„Reaktives Magnetronsputtern von TCO-Schichten: Rolle hochenergetischer Teilchen (Ionen) für die Schichteigenschaften“ |
14.40 |
V. Brüser, INP Greifswald
„Plasmachemisch synthetisierte Metall-Polypyrrol-Katalysatoren für die Sauerstoffreduktion in Brennstoffzellen“ |
15.00 |
A. Spethmann, T. Trottenberg, V. Schneider I, J. Rutscher, H. Kersten, CAU Kiel
„Zur Bestimmung von Kräften auf Oberflächen in einem Ionenstrahl“ |
15.20 |
M. Sode, T. Schwarz-Selinger, W. Jacob, IPP Garching
„Teilchendichtecharakterisierung in einem Wasserstoff und Argon-Wasserstoff Plasma“ |
15.40 |
Pause |
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H.-E. Wagner
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16.10 |
R. Wild, M. Bogaczyk, L. Stollenwerk, H.-E. Wagner, EMAU Greifswald
„Untersuchung dielektrisch behinderter Entladungen: Cross-Correlation-Spectroscopy“ |
16.30 |
M. Bogaczyk, R. Wild, L. Stollenwerk, H.-E. Wagner, EMAU Greifswald
„Untersuchung dielektrisch behinderter Entladungen: Messung von Oberflächenladungen“ |
16.50 |
S. Nemschokmichal, J. Meichsner, EMAU Greifswald
„Untersuchung dielektrisch behinderter Entladungen: Laserinduzierte Fluoreszenzspektroskopie von metastabilen Stickstoffmolekülen N2(A)“ |
17.10 |
G. Wiese, S. Kähler, R. Wiese, INP Greifswald
„Aktueller Entwicklungsstand der Aktiven Thermosonde - Grenzen und Einsatzmöglichkeiten“ |
20.00 |
Videoproduktion T. Brand und andere, CAU Kiel:
"Völlig losgelöst - ein Raumflug zu den Sternen"
(ca. 45 min) |
Mittwoch, 09.3.2011
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F. Frost |
09.00 |
H. Kersten, CAU Kiel
„Warum können Nanopartikel in kalten Plasmen kristallisieren?“ |
09.30 |
T. Welzel, K. Ellmer, HZ Berlin
„Anwendung einer ECR-Quelle zur Reduzierung hoher Teilchenenergien bei der Magnetronzerstäubung“ |
09.50 |
S. Müller, INP Greifswald
„Plasmachemische Erzeugung und oberflächenanalytische Untersuchungen von Eisen- und Kobalt-haltigen Katalysatoren für Brennstoffzellen“ |
10.10 |
D. Manova, A. Bergmann, S. Mändl, H. Neumann, B. Rauschenbach, IOM Leipzig
„In-situ XRD observation of phase formation“ |
10.30 |
Pause |
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H. Löb |
11.00 |
M. Dünnbier, S. Kalledat, H. Testrich, J. Meichsner, EMAU Greifswald
„Plasmapolymerisation von Ethylendiamin (EDA): Analyse der Gasphasenprodukte“ |
11.20 |
J. Bauer, IOM Leipzig
„Herstellung von Si/Ge-Nanostrukturen mittels Glanzwinkeldeposition“ |
11.40 |
D. Feili, B. Lotz, H. Löb, JLU Gießen
„Die Genaue Schubkontrolle bei Mikroschub-Ionentriebwerke vom RIT-Typ“ |
12.00 |
S. Brunken, K. Ellmer, HZ Berlin
„Strukturelle und elektrische Eigenschaften von gesputterten RuS2-Schichten für die Photokatalyse“ |
12.20 |
I.-M. Eichentopf, Th. Arnold, IOM Leipzig,
„Untersuchungen zu Ätzmechanismen bei der Plasmajetbearbeitung von Siliziumkarbid“ |
12.40 |
T. Reeswinkel, OSRAM Opto Semiconductors GmbH Regensburg
„Plasmaprozesse in der LED-Fertigung (Backedn)" |
13.00 |
Mittagspause |
Nachmittag: Diskussionen
Donnerstag, 10.3.2011
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H. Kersten
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09.00 |
R. Henrich, D. Feili, H. Löb, JLU Gießen
„Simulation der Neutralgasverteilung bei molekularem Gasfluss“ |
09.20 |
V. Schneider I, T. Trottenberg, R. Wiese, G. Wiese, H. Kersten, CAU Kiel
„Einsatz einer aktiven Thermosonde zur Energiestrommessung in Prozessplasmen“ |
09.40 |
F. Scholze, D. Manova, H. Neumann, IOM Leipzig
„Veränderung der tribologischen Eigenschaften von Edelstahl durch Niederenergieionenstrahlbearbeitung“ |
10.00 |
M. Fröhlich, V. Schneider II, D. Lundin, S. Bornholdt, H. Kersten, CAU Kiel,
„Analyse von reaktiven Magnetronsputterprozessen mittels nicht-konventioneller Plasmadiagnostik“ |
10.20 |
Pause |
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K. Ellmer |
10.50 |
A. Mießler, A. Mill, J. W. Gerlach und T. Arnold, IOM Leipzig
„Subapertur-Materialbearbeitung mit reaktiven Ionenstrahlen“ |
11.10 |
S. Hamann, INP Greifswald
„Untersuchung des Einflusses von reaktiven HF-Plasmen auf die Oberflächen von Chalkosin-haltigen Mineralien“ |
11.30 |
J. Meister, IOM Leipzig
„Neue Prozedur zur Prozesssimulation bei der Plasmajetbearbeitung“ |
11.50 |
V. Danilov, H.-E. Wagner, J. Meichsner, EMAU Greifswald „Plasmavernetzung von Polydimethylsiloxan (PDMS) zur Herstellung von Nanokompositschichten mit photokatalytisch aktiven Oberflächen“ |
12.10 |
Mittagspause |
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