Programm und Vorträge

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Vortragsprogramm 2018

Dienstag, 20.3.2018

	H. Neumann
09.20	Begrüßung und Informationen der Veranstalter
09.30	André Anders, IOM Leipzig "Ionization and Transport in Magnetrons"
10.15	Stefan Seeger, OUT e.V. Berlin " Reactive magnetron sputtering of Ta-doped SnO2 at low temperatures: carrier transport and role of negative ion bombardment"
10.35	Sven Gauter, CAU Kiel "Energy flux due to reflected neutrals in magnetron sputtering"
10:55	Pause

	H. Kersten
11.15	Kerstin Thorwarth, EMPA Dübendorf, Schweiz "Plasma based coatings for MedTech: needs and challenges"
11.45	Viktor Schneider, H. Kersten, CAU Kiel "Ein optisch gefangenes Mikropartikel als Sonde im Plasma"
12.05	Stephan Görsch, IOM Leipzig "Generierung von rotationssymmetrischen Abtragsprofilen beim (R)IBE von großen Oberflächen: Mathematische Modellierung und praktische Umsetzung"
12.25	Mittagspause

	A. Anders
14.00	Franz Faupel, Institut für Materialwissenschaft der CAU zu Kiel "Tailoring of nanoparticles and nanocomposites with plasmas"
14.45	Maik Fröhlich, INP Greifswald "Plasmabehandlung 3D-gedruckter metallischer Strukturen"
15.05	Hans-Erich Wagner, EMAU Greifswald "The barrier discharge - 160 years, and still a challenge"
15.35	Darina Manova, IOM Leipzig "In-situ XRD during ion implantation and ion etching"
15.55	Pause

	J. Friedrich
16.15	Oleksandr Polonskyi, Institut für Materialwissenschaft der CAU zu Kiel "Plasma Based Nanoparticle Generation: from Preparation to Function"
16.45	Daniel Spemann, IOM Leipzig "Current status of the deterministic ion implanter of the Leibniz Joint Lab at IOM"
17.05	Andreas Reeh, TH Mittelhessen Gießen "Globales Simulationsmodell für kleine Radiofrequenz-Ionentriebwerke"
20.00	Abendvortrag Holger Kersten, CAU Kiel Warum funktioniert die Kernfusion noch nicht?

Mittwoch, 21.3.2018

	F. Faupel
09.15	Michael Zeuner, SCIA GmbH Chemnitz "Oberflächenpräzisionsbearbeitung durch definierte Bewegungsstrategien im Vakuum"
09.45	Hermann Schlemm, Jenion - Ionenstrahl und Oberflächentechnik Milda "Breitionenstrahl- und Plasmaanalyse mit Retarding Field Analysatoren"
10.20	Kristof Holste, JLU Gießen "Treibstoffe für Ionentriebwerke"
10.40	Pause

	J. Meichsner
11.00	Frank Frost, IOM Leipzig "Reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE) für die Herstellung ultrapräziser optischer Elemente"
11.45	Felix Georg, CAU Kiel "Gegenfeldanalysator und passive Thermosonde – die Verbindung zweier Diagnostiken zur Untersuchung der Plasma-Wand-Wechselwirkung"
12.05	Martin Mitzschke, IOM Leipzig "Optisches in-situ Monitoring von reaktiven Ionenstrahlätzprozessen: Fortschrittsbericht"
12.25	Mittagspause
	Nachmittag: Diskussionen

Donnerstag, 22.3.2018

	K. Ellmer
09.15	Jürgen Meichsner, EMAU Greifswald "Low pressure plasma chemistry - principles and examples"
10.00	Chris Volkmar, DLR Göttingen "Fluxgate Magnetometer Based Determination of Ion Beam Current – Work in Progress"
10.20	Stephan Mändl, IOM Leipzig "Time resolved OES during high voltage pulses"
10.40	Pause
	F. Frost
11.00	Matthias Schubert, University of Nebraska, USA "Fortschritte mit ionenstrahlbasiertem GLAD: In-situ Ellipsometrie und Heterostrukturwachstum"
11.30	Jens Bauer, IOM Leipzig "Formfehlerkorrektur einer stark gekrümmten Al-Spiegeloptik mit reaktiven Sub-mm-Ionenstrahlwerkzeugen"
11.50	Andreas Neumann, DLR Göttingen "Bemerkungen zur Messung von EP-Strahlverteilungen"
12.10	Thomas Lautenschläger, IOM Leipzig "Reactive ion beam sputter deposition of TiO2: Influence of target material and sputter gas"
12.30	Mittagspause

	H.-E. Wagner
14.00	Klaus Ellmer, OUT Berlin "Magnetrongesputterte transparente, leitfähige Oxide: ein Vergleich elektronische und optischer Eigenschaften"
14.45	Karsten Harbauer, HZ Berlin "Anwendung diagnostischer Methoden im PLD-Prozess zur Untersuchung der stöchiometrischen Dünnschichtabscheidung vom multinären Target"
15.05	Christoph Eichhorn, IOM Leipzig "Non-intrusive plasmadiagnostic activities at IOM: Present developments”
15.25	Pause
	K. Holste
15.45	Axel Schindler, Consultant Ion Beam und Plasma Surface Technologies, Grimma "Ion Beam Technologies"
16.15	René Feder, Fraunhofer IMWS Halle "Deposition techniques and microstructure diagnostics of ophthalmic lens coatings”
16.35	Fred Pietag, IOM Leipzig "Schneller Strahlschalter für die Pulsbreitenmodulation von Ionenquellen”
16.55	Mathis Trant, EMPA Dübendorf, Schweiz "Growth Morphology and its Impact on Piezoelectric Properties of AlN Thin Films Deposited by Reactive Magnetron Sputtering"
20.00	Abendvortrag Carsten Bundesmann, IOM Leipzig Mehr als 50 Jahre Ionenquellenentwicklung in Leipzig* (*Wissenschaftsstandort Permoserstraße)

Freitag, 23.3.2018

	C. Bundesmann
09.15	Jörg Friedrich, TU Berlin "Zum Bildungsmechanismus funktioneller Gruppen an Polymeroberflächen bei Plasmaeinwirkung"
09.45	Sebastian Stark, scia Systems GmbH Chemnitz "Reaktive Ionenstrahlabscheidung von TiO2- und Ta2O5-Dünnschichten für optische Anwendungen"
10.05	Franz Georg Hey, Airbus Friedrichshafen "Ausbau des Kleinsatelliten-EP-Teststandes in Friedrichshafen"
10.25	Gregor Dornberg, IOM Leipzig "Entwicklung einer RIBE-Technologie zur Strukturierung von dielektrischen Schichtsystemen mit höchster Tiefengenauigkeit"
10.45	Pause
	D. Manova
11.05	Melanie Ulitschka, IOM Leipzig "Eigenschaftsoptimierung Novolak-basierter Photolacke für die Ionenstrahl-planarisierung von Al-Optiken"
11.25	Jahn Lehnert, IOM Leipzig "Structured graphene films on silicon dioxide synthesized by carbon ion implantation"
11.45	Faezeh Kazemi, IOM Leipzig "Ultra-precise Machining of Surfaces Using Microwave-driven Cl-based Plasma Etching”
12.05	Schlussworte der Veranstalter
12.15	Mittagspause

	Ende des XXV. Erfahrungsaustausches OTPIP 2018

	Tutorial Keynote Normalbeitrag

CAU Kiel . . . Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung Leipzig