Der IX. Erfahrungsaustausch
fand statt vom
4. bis 7. März 2002
in Mühlleithen / Erzgebirge
Schwerpunktthemen
- Diagnostik von Niedertemperaturplasmen und Beschreibung
von Plasma- und Ionenstrahlquellen (Massenspektrometrie, Optische
Spektroskopie einschließlich Laserverfahren, Elektrische Messungen)
- Plasmachemische Prozesse und Reaktionskinetik
im Volumen und an Oberflächen
- Plasma- bzw. Ionenstrahl-Festkörper-Wechselwirkung
(Abscheiden, Ätzen, Implantation)
- Analytik an Oberflächen und dünnen
Schichten nach Plasma- und Ionenstrahlbehandlung
- Makroskopische Oberflächen- und Schichteigenschaften
- Anwendung von Plasma- und Ionenstrahlverfahren
in der industriellen Praxis
Veranstaltungsort
Ferienhotel
Mühlleithen bei Klingenthal
D-08248 Mühlleithen, Waldstraße 4
Kontaktadressen
IOM e.V. Leipzig
Horst Neumann
Permoserstraße 15
D-04318 Leipzig
Tel.: (0341) 235 2681
Fax : (0341) 235 2595
Email: horst.neumann(a)iom-leipzig.de *
* (bitte ersetzen Sie (a) durch @)
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