Vorträge Mühlleithen 2002
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- J. Meichsner, E.-M.-Arndt-Universität
Greifswald,
"Diagnostik reaktiver Molekülplasmen"
- S. Mändl, Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"Plasma-Immersions-Ionenimplantation
und Festkörperdiffusion"
- B. Fritsche, Forschungszentrum Rossendorf
"Charakterisierung einer RF-Ar/N2 Magnetron-Entladung zur Abscheidung
von cBN"
- T. Welzel, Technische Universität Chemnitz
"Charakterisierung
von Facing-Target-Magnetrons bei der CNx - Abscheidung"
- G. J. Peter , N. Müller und H. Zogg,
Inficon Ltd, FL 9496 Balzers, Liechtenstein
"Energie-Messungen an Neutralteilchen und Ionen von eine DC-Sputter-Quelle"
- K. Ellmer, Hahn - Meitner Institut Berlin
"Epitaktisches Wachstum von magnetrongesputterten aluminiumdotierten
ZnO-Schichten auf Saphireinkristallen"
- C. Hopf, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
Garching
"Erosion von a-C:H: Synergismus H + Ionen"
- T. Thamm, K.U. Körner, G. Marx , Technische
Universität Chemnitz
"Plasmaunterstützte Abscheidung von BCN-Schichten"
- S. Peters, B. Krames, A. Mengel, J. Meichsner,
E.-M.-Arndt-Universität Greifswald
"Räumliche Konzentrationsverteilung von Sauerstoffatomen
in einer Hochfrequenzentladung in Sauerstoff"
- R. Wiese, H. Kersten, E.-M.-Arndt-Universität
Greifswald, F. Scholze, H. Neumann, Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"Messung von ionenstrahlgenerierten Energieeintragsprofilen mit
Hilfe von Thermosonden"
- R.-D. Schulze, J. Friedrich, Bundesanstalt
für Materialforschung und -prüfung Berlin
"Zeitaufgelöste
SEERS-Diagnostik in gepulsten schichtbildenden Plasmen"
- M. Meier, Max-Planck-Institut für Plasmaphysik
Garching
"Adsorption von Methylradikalen auf a-C:H"
- H. Leiter, Astrium München
"Elektrostatische Raumantriebe -Entwicklungen und Einsatz"
- F. Frost, Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"Ionenstrahlglättung von optischen Oberflächen - Möglichkeiten
und Grenzen"
- S. Grabovski, H.-E. Wagner, E.-M.-Arndt-Universität
Greifswald
"Chemical Kinetics and Si-Etching by SF6/Ar-Microwave Plasma Jets"
- O. Gabriel , K. Li, J. Meichsner, E.-M.-Arndt-Universität
Greifswald
"In situ Untersuchung der Schichtbildung ingepulsten HMDSO-Plasmen"
- J. W.Gerlach, Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"Ionenstrahlinduzierte
Effekte bei der ionenstrahlgestützten epitaktischen Schichtabscheidung"
- Jan Hinze, Hahn - Meitner Institut Berlin
"Reaktives Magnetron-Sputtern von CuInS2-Absorberschichten für
Dünnschichtsolarzellen"
- S. Jankuhn, E. Hartmann, H.Neumann, Institut
für Oberflächenmodifizierung Leipzig
"Einsatz eines
objektorientierter PIC-Codes zur Beschreibung von Plasmaquellen"
- Stefan Sienz, Institut für Oberflächenmodifizierung
Leipzig
"In situ Spannungsmessungen
bei der Ionenimplantation in GaN-Dünnschichten"
- D. Labruier, Deutsches Wollforschungsinstitut
Aachen
"Behandlung von Polyester im Fluorcarbonplasma"
- E. Schubert, H. Neumann, M. Schubert*, C.
M. Herzinger**, J. A. Woollam**, Institut für Oberflächenmod.
Leipzig, *Universität Leipzig, **University of Lincoln, Nebraska
"Dielektrische
Funktionen polykristalliner und amorpher Tantal-oxidschichten
bestimmt mit Spektralellipsometrie von 0,03 eV bis 8,5 eV"
- J. Meinhardt, W. Bondzio*, R. Mehnert, Institut
für Oberflächenmod. Leipzig, *LPKF AG Garbsen
"Laserstrukturierbare kombinierte PVD- und PECVD- Schichtsysteme
für die Sensorik"
- V. Weiss, Hahn - Meitner Institut Berlin
"In situ-Untersuchung des Wachstums von MoSx-Schichten durch energiedispersive
Röntgenbeugung während des Magnetron-Sputterns"
- A. Fritz, A. Schönhals, R. Mix, G.
Kühn, J. F. Friedrich, Bundesanstalt für Materialforschung
und -prüfung Berlin
"Untersuchung von
pulsplasmapolymerisierten Copolymeren des Systems Allylalkohol-Alken
mittels dielektrischer Relaxationsspektroskopie"
- M. Tartz, E. Hartmann, H. Neumann, Institut
für Oberflächenmod. Leipzig
"Einflüsse von
Justierfehlern im Multiaperturgittersystem auf den Ionenbreitstrahl"
- B. Rauschenbach, Institut für Oberflächenmod.
Leipzig
"Ionenstrahlgestütztes
Schichtwachstum"
- K. Zimmer, J. Dienelt, B. Dahte, H. Neumann,
Institut für Oberflächenmod. Leipzig
"Einsatz eines getakteten
Ionenbreitstrahls für CAIBE-Prozesse"
- R. Deltschew, M. Tartz, H. Neumann, E. Hartmann,
Institut für Oberflächenmod. Leipzig
"Sputterrateuntersuchungen
an kohlefaserverstärktem Graphit"
- M. Bauer, Max-Planck-Institut für
Plasmaphysik Garching
"Schichtwachstum in gepulsten Plasmen: In-Situ-Diagnostik - Pulsaufgelöst?"
- A. Geschewski, Deutsches Wollforschungsinstitut
Aachen
"Untersuchung der Tiefenwirkung eines O2- Niederdruckplasmas auf
Polypropylenvlies anhand eines Schichtmodells"
- F. Scholze, Institut für Oberflächenmod.
Leipzig
"Programm zur Berechnung
von Ionenstrahl- und Sputterschichtverteilung zur Geometrieberechnung
von Ionenstrahlsputterapparaturen"
- G. Kühn, R. Mix, J. Friedrich, Bundesanstalt
für Materialforschung und -prüfung Berlin
"Die Anwendung
der pulsplasmaaktivierten chemischen Copolymerisation zur Erzeugung
haftvermittelnder Plasmapolymerschichten mit unterschiedlicher
Art und Dichte an funktionellen Gruppen in Al-PP-Verbunden"
- M. Nitschke, Institut für Polymerforschung
Dresden
"Ultrahydrophobie - Wie man ein altbekanntes Konzept um eine neue
Idee erweitert"
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